分子污染物（AMC）浓度极低，却可能干扰光刻、薄膜沉积等关键制程。华西米 AMC 在线监控系统依托尖端质谱检测技术，对洁净环境中的分子级污染物进行连续在线监测，实时捕捉浓度变化并精准分析，帮助工厂在污染影响产品之前及时响应。
系统构成
系统围绕“在线采样—质谱分析—平台管理”构建：采样单元连续抽取空气样本，质谱检测单元完成分子级污染物的定性与定量分析，数据管理平台负责采集、存储、展示和告警。
技术特点
质谱检测可在极低浓度下识别多种分子污染物，实现连续在线感知；数据全程留痕、可追溯，支持 GMP 等合规审计；当浓度超出设定阈值时，系统即时告警并联动异常处置流程。
应用场景
适用于半导体先进制程洁净环境、晶圆厂光刻与刻蚀工艺区域、高精密薄膜沉积设备和先进封装微环境。