无尘厂房的监测点位往往数量多、分布广。华西米多点采样系统以“一台传感器、多路轮询”的方式解决这一难题:以 Manifold 转盘为核心,将多个采样点汇聚至各 Port 口,由控制箱驱动切换采样通路,让一台粒子计数器分时复用,依次完成多个点位的 24 小时不间断监测。
系统构成
系统由监控软件、AMPS 控制箱、Manifold 转盘与粒子计数器组成。转盘提供 32 口采样通道,各采样点管路与 Port 口一一对应,控制箱负责驱动转盘切换与采样调度。
工作原理与技术特点
系统采用“一台 Counter 轮询多路”的分时复用机制,可按现场配置采用伺服电机驱动气嘴或电磁阀开合。真空泵持续维持转盘内的负压,控制箱按顺序切换采样点,数据依托西电法则校准并由智能算法甄别颗粒事件。
应用场景
适用于多点位无尘室制程设备、半导体批量工艺生产设备、高精密洁净制程集群设备及多腔体封闭式生产设备,在控制投入的同时持续掌握各点位洁净状态。