半导体、显示面板等精密制造的无尘厂房里，空气中的微小颗粒一旦落入晶圆或面板，便可能造成良率下降甚至产品报废。华西米在线单点监测系统采用 Remote Sensor 远程传感器方案，为每个关键设备点位配置独立传感器，7×24 小时连续采样，并依托工厂现有网络实时上传至服务器完成数据分析，在可视化界面中呈现全域环境状态。
系统构成
系统主要由 Remote Sensor 传感器组、数据通信层与服务端监控软件组成。传感器端采用 Airnet II 空气粒子传感器，支持无人化运行，为洁净室关键区域提供稳定、可靠的粒子监测数据。
技术规格与工作原理
Airnet II 提供 28.3 L/min 与 2.83 L/min 两种采样流量，粒径通道可选 2 个或 4 个，并符合 ISO 21501-4 粒子计数器校准标准。系统支持 OPC、Modbus 及 4-20mA 信号输出，可接入 SCADA 与既有环境监测体系。所有采样点将数据实时汇报至监控软件，由服务端统一完成分析与界面展示。
应用场景
适用于半导体无尘室制程设备内部、精密电子制程封闭式设备以及洁净生产专属工艺设备腔体等场景，帮助客户提前发现环境异常、降低良率损失并保障产线稳定运行。