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产品系统

在线单点监测系统

2026.10.15

在线单点监测系统

采用 Remote Sensor 为关键设备点位提供 7×24 小时连续粒子监测，实时发现异常并支撑洁净生产稳定运行。

多点采样系统

2026.10.15

多点采样系统

以一台粒子计数器配合 Manifold 转盘轮询多个采样点，分时复用、严控成本并保持连续监测。

半自动移动监测系统

2026.10.15

半自动移动监测系统

ManuGlide FMS 以手推车搭载粒子计数器与 Pad，按计划灵活完成点位抽检、参数配置与分层报表导出。

全自动移动监测系统

2026.10.15

全自动移动监测系统

AutoCruise FMS 以激光与惯性导航 AMR 为载体，实现无尘室环境参数的自主巡航、自动避障、实时预警与合规追溯。

AMHS FMS 自动物料搬运监测系统

2026.10.15

AMHS FMS 自动物料搬运监测系统

面向无尘室物料搬运与自动化物流设备的环境监测系统，与 MCS 深度通讯并通过智能排程联动物流节拍。

VOC 在线监控系统

2026.10.15

VOC 在线监控系统

面向工业废气排放的全天候、高精度监测终端，实时捕捉 VOC 浓度并通过平台完成分析、预警与报表管理。

HSEMI 定制系统

2026.10.15

HSEMI 定制系统

以数据、判断、闭环、趋势、管理、落地六大能力，构建洁净环境颗粒管控的全流程数字化平台；支持自定义多级预警规则，经企微、邮件、短信多渠道实时推送。

ESD 在线监控系统

2026.10.15

ESD 在线监控系统

覆盖人、机、料、法、环的全维度静电防护网络，提供全天候实时监控、智能准入控制和异常告警。

设备心跳监控系统

2026.10.15

设备心跳监控系统

通过高灵敏度传感器和 AI 算法分析设备生命体征，提前 7—30 天预警潜在故障，支撑预测性维护。

AMC 在线监控系统

2026.10.15

AMC 在线监控系统

依托尖端质谱检测技术，对洁净环境中的分子级污染物进行连续在线监测、精准分析和即时告警。

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