HSEMI 内容中心
面向晶圆制造、先进制程和设备内部环境,提供粒子、分子污染、静电与设备状态的全域监测方案。
通过传感采集、IoT 网关和状态分析,将设备状态、环境数据与运维流程连接起来。
面向显示面板和精密电子制造场景,持续监测洁净环境与设备内部状态;支持自定义多级预警规则,经企微、邮件、短信多渠道实时推送。
面向化学品制造洁净场景,提供 VOC、粒子、温湿度和审计追踪等环境监测能力。