半导体洁净制造

半导体制造对洁净度、稳定性和数据完整性有严格要求。HSEMI 围绕晶圆厂关键设备、洁净室和物流环节，提供在线单点、多点采样、移动监测、AMC、ESD、VOC 和设备心跳等系统组合，形成从采集、判断、预警到异常闭环的全流程环境管理。

方案支持 Remote Sensor、Manifold、AMR 和 AMHS FMS 等多种部署方式，可按产线点位、洁净等级和生产节拍灵活配置。